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中国电子报
诸 亚静 卓尔 梁红兵 真
2008-09-09 16:29:09
- 四十八所：具备太阳能电池整线交钥匙能力
作为最早进入太阳能光伏行业的国内电子专用设备厂商，四十八所直接参与并见证了中国光伏产业的兴起与发展，他们生产的光伏设备以其优良的性价比得到了国内外光伏企业的广泛认同，大大降低了国内光伏企业的投资成本，提升了国内光伏企业的国际竞争力，也使四十八所在技术保持领先的同时，经济规模连年翻番增长，现已雄踞国内电子专用设备行业第一位置。
中国电子科技集团公司第四十八研究所成立于1964年，位于湖南长沙，是国家级微电子、光电子及磁性材料等电子专用设备及相关产品研发生产的专业机构。经过40多年的沉淀及发展，四十八所已成为中国太阳能电池制造设备、电子工业窑炉的最大供应商，半导体设备的主要供应商，离子注入机等半导体核心制造设备研发和制造基地。
四十八所不仅是最早一批实施ISO9001质量管理体系的国内专用设备制造商，也是目前唯一一家通过40001环境体系认证的国内电子专用设备供应商。
四十八所拥有完善的研发条件以及一流的半导体工艺设备研发团队，技术人员占员工的70%，拥有教授级高级工程师19人，高级工程师94人，工程师287人，有突出贡献享受国务院政府特殊津贴的技术专家29人；专业涉及半导体、真空、物理、光学、电子、精密机械、计算机等63个学科门类。
四十八所自成立以来连续承担了国家微电子、光电子制造设备重大科技攻关项目，效果显著，共取得重大科研成果120余项，使其始终立足于行业科技发展的最前沿。其中100nm大角度离子注入机项目更是荣获信息产业部“2006年信息产业重大技术发明”大奖，这是我国自主创新装备首次获得该奖项。
近年来，凭借自身强大的研发实力及产业化能力，四十八所已经实现了除丝网印刷机之外的整线太阳能电池生产设备的国产化目标。以扩散炉、PECVD(管式)、等离子刻蚀机、快速烧结炉、多晶铸锭炉等关键设备为代表的光伏装备获得用户一致认可并拥有极高的市场占有率。2008年他们推出的全封闭软着陆扩散炉和多晶铸锭炉更使我国在此领域的技术能力达到国际一流水平。
作为目前国内最大的光伏设备供应商，四十八所在国家有关部委的大力支持下，通过与国内众多一流电池厂商的广泛协同合作，经过十数年的技术积累与产业实践，已经具备了太阳能电池整线交钥匙的能力，此举将使投资者的建线周期大为缩短，技术风险大幅降低，投产后的维护及管理工作更富成效。
理工晶科：单晶炉制造技术助推光伏产业
近几年来，在全球光伏产业的推动下，太阳能级单晶炉需求迅猛增长，西安理工晶体科技有限公司坚持优材优质，赢得了市场良好的信誉。
西安理工大学工厂是西安理工大学创办的为教学科研服务的高新技术企业，拥有机械、电气加工的各种先进手段及产品质量保证和反馈系统。该厂及晶体生长设备研究所开展单晶炉及晶体生长设备研制已有40年的历史。2002年通过了ISO∶9000国际质量管理体系认证，2005年获得AAA企业信用等级，是陕西省新型半导体功能材料与设备工程研究中心的主要依托单位。
西安理工大学工厂于2007年12月27日改制，名称为西安理工晶体科技有限公司（简称理工晶科）。公司注册资本金人民币1亿元，在晶体生长设备制造、光伏发电产品生产行业保持技术领先、产品市场占有主导地位。公司为国内单晶炉及其他晶体生长设备研发与制造的核心企业，是国内在该领域中最具影响力的专用设备制造商。
西安理工晶体科技有限公司自1961年研制成功我国第一台单晶炉以来，已定型生产12大系列、近百种型号电子专用设备，涉及半导体、光学及激光、化合物、氧化物、氟化物等晶体材料以及多晶硅、合金材料、人工宝石等高科技领域。产品国内市场占有率达70%以上。累计生产各类晶体生长设备3300余台。先后有多个品种、百十余台设备远销欧、美等地。企业承担过国家多项“863”科技攻关计划。
多年来，他们广泛吸收国内外最新技术成果，综合积累丰富的单晶炉制造技术，为我国微电子、光电子及光伏产业的发展作出了重要贡献。
西安理工晶体科技有限公司已积累和掌握具有自主知识产权的单晶炉制造技术，已授权专利15项，组建了陕西省“13115”工程陕西省晶体生长设备工程技术研究中心。
未来他们将加强与应用材料公司、德国CGS公司的技术合作，积极参与全球竞争，并发展成为具备年产500台套太阳能生产设备的国内知名设备制造企业。
华盛天龙：做中国光伏设备研发龙头企业
江苏华盛天龙机械股份有限公司前身为常州华盛天龙机械有限公司，是一家专业光伏设备研发生产企业。企业现拥有两个光伏设备研发、制造基地(华盛天龙、上海群英)，拥有各类专利18项，其中发明专利10项，各类产品累计年生产能力达1000余台。生产能力及新产品研发能力在全国同行中位于前三，主要产品为多晶硅浇铸炉、单晶硅生长炉、单晶硅切断机、单晶硅切方滚磨机及其他各类晶体生长设备。其中部分产品，如单晶硅切方滚磨机市场占有率达到80%，特别是多晶硅浇铸炉的研发成功更是打破了国际垄断，填补了国内空白，获得2007年江苏省重大科技成果转化资金资助1000万元。此外，公司还与清华大学、同济大学、西安理工大学、浙江大学等国内知名院校和科研单位有着长期良好的技术协作关系。
华盛天龙技术力量雄厚，拥有较强的独立研发能力和研发资金保障。企业有一支敢打硬仗、善于技术攻关的企业家；有一批熟悉多晶硅生产工艺，团结协助的科技开发队伍。公司还与清华大学等高等院校建立了长期的合作平台。
华盛天龙是国内专业的光伏设备生产企业，具有一定规模的机械加工能力，已形成各类产品年产1000台的生产能力。目前拥有各类机械加工设备和仪器126台(套)，主要加工设备有：氦质谱检漏仪、轻型龙门铣床、大型卧式立车床、氩弧焊机、等离子切割机、镗床、龙门刨床等。另外，公司为了产业化升级，又陆续订购了一批研发、生产设备，如自动氩弧焊接机、氧碳含量测试仪、X光探伤仪、三坐标测量机和龙门加工中心、数控立车、卧式加工中心等。
华盛天龙十分重视科研开发投入，连续几年科技投入都在逐年增长，2007年公司研发费用为753万元，约占销售收入的3%。2008年，公司将继续坚持科技创新战略，一方面投入1300万元用于新产品研发，力争将公司建设成中国光伏设备研发的龙头企业。另一方面与世界光伏设备研发的第一品牌——— 美国KAYEX公司进行合作，借此将华盛天龙打造成国际一流、世界知名品牌。通过不断的积累和后续投入，公司目前已完成各类专利申报20余项，拥有专利18项，其中发明专利10项。
近两年来，华盛天龙进入了一个前所未有的快速发展通道，在管理和运作模式上发生了很大变化，职工观念和精神面貌有了根本性改变，产值和利润实现了新的突破。特别是2007年，实现销售2.5亿元，利税8000万元，比2006年分别增长400%和700%。2008年上半年，公司已完成销售1.6亿元，利税超4500万元。
目前华盛天龙正积极进行资本市场运作，力争2009年前后成为国内第一家光伏设备研发上市企业。5月19日，公司正式股改成功，更名为江苏华盛天龙机械股份有限公司，并完成证监会备案进入辅导期。为公司发展需要和配合上市需求，公司已新征28万平方米土地用于企业产业升级建设，一期工程8.3万平方米已于3月9日奠基开工，投资3亿元，计划2008年年底投入使用，2009年将达到年产能力1000台套，销售收入6亿元，利税1.8亿元。
应用材料：薄膜和晶体硅光伏技术设备领先
作为一家全球化的公司，应用材料公司早在1984年就在中国开展业务并且成为第一家进入中国的外资半导体生产设备供应商。应用材料公司的脚步也随着中国半导体工业和集成电路产业的发展向前迈进。
应用材料公司是全球最大半导体设备供应商。自1967年成立至今，应用材料公司一直都是领导信息时代的先驱，以纳米制造技术打造世界上每一块半导体芯片和平板显示器。目前，应用材料已全面进入太阳能生产设备领域。
应用材料公司于1997年正式在中国注册独资公司。中国公司总部也已落户上海浦东张江高科技园区，在北京、天津、苏州和无锡设有办事处和零配件仓库，并把上海作为全球技术培训中心之一。2003年，应用材料公司在外高桥保税区设立了第一个外资半导体制造设备的再制造中心。2005年，应用材料公司在上海宣布成立应用材料投资(中国)有限公司，以进一步拓展业务，巩固在中国市场的领导地位。同时，公司还在西安成立了一个全球开发中心，为应用材料遍布于世界各地的业务提供技术和软件的支持。
应用材料公司的设备被广泛使用于芯片生产和检测的每一步，公司的产品覆盖物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀、热处理、离子注入、外延、清洗等。
应用材料公司是全球半导体和显示器生产设备的最大供应商，其先进的技术、大规模制造的经验以及完善的服务体系是公司最大的优势所在。
公司自2006年进入太阳能光电设备市场以来，市场表现良好。应用材料公司太阳能业务在薄膜和晶体硅两个领域内都拥有领先的技术和设备。薄膜方面，SunFab生产线是目前世界上唯一一条在5.7平方米超大玻璃基板上制造薄膜太阳能组件的整合生产线，其面积是之前太阳能电池生产中所使用的最大基板的4倍，规模化生产将大幅降低每瓦成本。其SunFab5.7平方米超大面板，适合公用事业级大规模光伏发电。2007年，公司SunFab薄膜生产线赢得了全球当年公布的薄膜硅生产线合同55%以上的份额。多晶硅方面，其HCT切片、Baccini金属镀膜等设备都有极具优势的市场占有率。
另外，应用材料公司特别注重对中国的长期投入和发展，目前正在筹划在中国建立世界级的研发中心，把他们在美国和欧洲正在进行的最尖端的太阳能研发工作引入到中国来。这个中心将开展薄膜和晶体硅太阳能生产技术和设备的研发、展示、认证和培训等工作。
他们还将通过中国的国际采购中心为全球的SunFab生产线认证并采购零配件。该中心建成后将成为应用材料公司全球太阳能战略中最重要的组成部分，也将成为中国技术最先进、规模最大的太阳能研发中心之一。
除此之外，应用材料公司还拥有遍布全球的服务体系，这也是应用材料公司赢得市场的关键所在。
四十五所：光伏设备关键零部件国产化率80%
中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称四十五所)是我国专业从事半导体专用工艺设备研发、制造和技术服务的大型科研生产一体化机构，是国家“863”重大设备攻关、IC后封装设备产业化示范工程项目承担单位。
四十五所拥有系统集成、运动控制、机器视觉对位、精密工作台与物料传输、超精密零部件与结构设计和工艺物化6个共性技术及工艺研究室，强化对使用工艺的研究与应用，可为客户提供全套解决方案，保证产品的先进性与可靠性。此外，他们还拥有现代化研发中心、净化厂房、装配线和精密零部件制造中心。
四十五所从2002年开始，年销售收入以30%以上的速度增长。2006年销售收入16809万元；2007年销售收入19318万元。其中太阳能光伏设备占销售收入的26%左右。为国内多家大型太阳能生产线提供了设备，如南京中电光伏、无锡尚德太阳能、江苏林洋、保定天威英利、晶澳太阳能、江西赛维LDK电子等。他们的清洗机、甩干机、划片机等设备已在这些大型企业中发挥了效用。在太阳能电池手动生产线上，四十五所印刷机的市场份额占到90%以上，已替代进口设备。
由四十五所自主研发的太阳能光伏设备，拥有自主知识产权，并申请了多项专利，关键零部件国产化率已达80%。“阳光采购工程”为国内外优秀的原材料和元器件供应商搭建了技术交流平台，在北京及其周边地区已形成了良好的生产、供应相互配套的产业链，促进了这些地区企业的经济效益，带动了地方经济的发展。
四十五所作为我国半导体制造设备开发生产的国家队，始终站在与国外设备竞争的最前沿，坚持以为太阳能电池企业提供工艺实用性强、性价比高的设备为己任，以降低太阳能电池企业投资和运行成本、提升太阳能电池企业市场竞争力为目标，致力于加快提高国产设备整线供给装备和工艺技术的能力。
在产品开发策略上，瞄准晶体硅太阳能电池制造最关键的设备——— 多线切割机和全自动印刷设备，目前，这两种设备的国产化工作取得了重大进展。
在太阳能硅片制备方面，四十五所自主研发拥有15项专利的多线切割机日前已成功切割出厚度为200μm的标准156mm×156mm方硅片，该设备现以接受订货，将在2008年年底实现批量生产。
在太阳能电池片制造方面，备受关注的全自动丝网印刷自动系统开发也取得了重大突破，设备关键的单元技术，如视觉对准、自动传输翻片系统、碎片在线检测系统、自动柔性印刷、效率检测分拣系统等已完成了实用化开发，该设备将在2010年实现批量生产。
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