图为8002A粘片机

图为SFQ-1508ZT型全自动制绒清洗设备装备现场

    中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称45所)是我国专业从事半导体专用工艺设备研发、制造和技术服务的大型科研生产机构，是国家“863”重大设备攻关、IC后封装设备产业化示范工程项目承担单位。45所凭借其多年来的技术积累和创新，默默地耕耘在半导体设备领域。

    10大门类产品服务4大领域

    中国电子科技集团(CETC)第45研究所是国内从事电子专用设备技术、整机系统和应用工艺研究开发与生产制造的专业化科研生产单位，以机器视觉技术、运动控制技术、精密零部件制造与优化技术、物料传输系统技术、精密运动工作台系统技术、专项工艺研究与物化技术和整机系统集成技术为主要研究方向，以半导体与集成电路专用设备、新兴电子元器件专用设备和其他机电一体化专用设备为主要研发对象。现已形成以IC关键工艺设备“光刻机”为龙头，晶圆加工设备、芯片封装设备及电子元件设备等门类齐全，系列配套的产品。由45所研制的半导体材料加工、光刻、电镀、腐蚀清洗、检测系统、划片、键合设备在国内处于技术领先地位并已具备规模生产能力。

    45所研制的产品涉及4大领域10大门类，有100多个品种。30多年来，45所共取得科研成果500多项，其中200多项获得国家、省(部)级以上奖励；申请并获得技术专利50多项；有59种专用设备被国家列入替代进口产品目录，另有20多项被列为国家级新产品。由45所研发生产的6000多台(套)专用设备在我国集成电路制造行业和其他行业近300家企业的生产线、科研院所以及高校发挥着重要作用。

    45所产品服务的主要市场领域包括微电子、半导体照明(LED)、太阳能光伏、半导体分立器件及元件、特种材料等其他电子元器件。其中，微电子及分立器件客户大多数分布在珠、长三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、焊线机等产品；半导体照明设备产品的客户(封装+芯片)主要分布在珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干机、划片机等产品。其他元件、特种材料等电子元器件设备产品客户在全国各地均有分布，涉及的产品包括切片机、清洗机、甩干机、划片机等。

    LED设备受到广泛青睐

    在市场开拓方面，他们注重国内大用户、龙头企业的开发，在半导体后封装专用设备、 LED(发光二极管)生产专用设备及太阳能生产专用设备等方面取得了较大的进展，所开发的部分产品已经能和国外大公司的产品抗衡，尤其是LED设备更是受到众多厂商的青睐。

    目前，针对DB-8002LED自动粘片机他们有一支专业的售后队伍，能够完成从售前的技术支持，到售后的技术服务及维修工作，有效保证设备在用户现场的正常运行。国内LED制造行业竞争日趋激烈，产品的利润非常低，大多数以手工生产为主，产品品质难以保证。而自动化设备原来要依赖进口，不仅价格昂贵，售后服务也得不到保证。目前国内这类设备年需求超过500台（套），而45所开发的设备恰恰满足这部分用户的需求，在设备性能和品质上和国外设备相当，价格和售后就成了他们优势所在。同时，为了追求较高的利润，很多厂商都要生产一些个性化的LED应用产品，这就对设备也提出了个性化要求。45所可以很快地深入用户，了解用户工艺情况，提出解决方案。

    未来他们将按既定的开发思路，除在产品技术含量、可靠性、制造成本等方面继续做好工作以外，重点开发国内的龙头企业，以此带动整个行业的市场开拓，谋求更大的市场份额。

    积极跟踪生产工艺发展

    45所作为我国半导体制造设备开发生产的国家队，始终站在与国外设备竞争的最前沿，坚持以为太阳能电池企业提供工艺实用性强、性价比高的设备为己任，以降低太阳能电池企业投资和运行成本、提升太阳能电池企业市场竞争力为目标，致力于加快提高国产设备整线供给装备和工艺技术的能力。由于看到太阳能电池和半导体照明产业的迅猛发展势头，45所针对其工艺和使用特点，对相关产品进行了适应性改进和提升，取得了较好的市场反响。丝网印刷、硅片制绒、清洗和大容量冲洗甩干等设备已批量进入国内主要的太阳能电池生产企业。

    由45所自主研发的太阳能光伏设备，拥有自主知识产权，并申请了多项专利，关键零部件国产化率已达80%。“阳光采购工程”为国内外优秀的原材料和元器件供应商搭建了技术交流平台，在北京及其周边地区已形成了良好的生产、供应相互配套的产业链，促进了这些地区企业的经济效益，带动了地方经济的发展。

    在产品开发策略上，他们瞄准晶体硅太阳能电池制造最关键的设备——— 多线切割机和全自动印刷设备重点开发、目前，这两种设备的国产化工作取得了重大进展。

    在太阳能硅片制备方面，45所自主研发，拥有15项专利的多线切割机日前已成功切割出厚度为180μ m的标准 156mm×156mm方硅片。

    在太阳能电池片制造方面，备受关注的全自动丝网印刷自动系统开发也取得了重大突破，设备关键的单元技术，如视觉对准、自动传输翻片系统、碎片在线检测系统、自动柔性印刷、效率检测分拣系统等已完成了实用化开发，该设备将在2010年实现批量生产。

    45所从20世纪60年代就开始了对内圆及外圆切片机的研究，积累了丰富的技术经验。面对太阳能原材料价格上涨，多线切割机市场需求增长的趋势，适时地开发了DXQ-601型多线切割机，技术指标、工艺性能等参数均接近或超过国外同类设备的水平，填补了国内该类产品的空白。与传统内圆切片工艺相比，线切割具有弯曲度、翘曲度小，平行度好，总厚度偏差离散性小，刃口切割损耗小，表面损伤层浅，晶片表面粗糙度小，切割效率高等显著优点。

    制绒是制造太阳能电池的一道关键工艺，对提高电池的转换效率起着重要的作用，目前在单晶硅太阳能电池制造工艺中，主要采用槽式制绒设备。由45所研制的SFQ-1508ZT型全自动制绒清洗机、SFQ-1504ZT全自动去磷硅玻璃清洗机、SFQ-1506ZT全自动预清洗机等设备，全过程均采用自动化。用户在手动上料后由3套机械传动装置来完成腐蚀、清洗等工艺过程，减少了人工干预，具有自动化程度高，运行成本低，生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点。

    在太阳能电池生产工艺中，干燥是控制成品率、降低碎片率的关键步骤。在现代电池生产工艺中，主要采用烘干加热结合旋转甩干的方式，其技术关键体现在烘干效果、碎片率、运行成本等方面。45所开发的LXS-800型立式旋转冲洗甩干机，在目前各主要太阳能电池生产线(南京中电、江苏林洋、保定天威等)上都得到了用户的肯定。

    结合太阳能电池工艺中的印刷工艺和国内工艺线中试验线和中小型生产线的要求，45所研制了半自动印刷设备——— WY-159型精密网版印刷机、WY-178型自动精密网版印刷机和WY-216型精密网版印刷机，设备采用手动上下料，自动完成太阳能电池片生产过程中正面金属电极、背接触电极、背钻等的丝网印刷，也适用于厚膜电路、印刷电路板、液晶显示器、表面贴装等电子元器件的高精密图形印刷。

    随着太阳能电池行业的不断发展，45所将继续发挥研究所在研发方面的优势，积极跟踪生产工艺的发展，不断改进和提高设备的工艺适应性，以适应市场的发展及工艺的要求。

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    45所科技研发取得的成绩

    1975年 研制成功我国首台精缩照相机，获国家科技进步一等奖。

    1978年 研制成功我国首台图形发生器。

    1984年 研制成功我国首台分步光刻机，并获得电子工业科技进步一等奖。

    1993年 研制成功我国首台双面光刻机，并获得国家级新产品奖，电子工业科技进步三等奖。

    1997年 研制成功我国首台超低温阵列探针测试台，获电子工业科技进步二等奖。

    1997年 研制成功我国首台全自动探针测试台。

    2005年 承担的国家重点科研项目“SB-601型双面光刻机”通过了设计定型和验收，该设备是国内第一台实用化的6英寸双面光刻机，在国内处于领先水平。

    2005年 金刚石内圆刀片镀制成型装置技术、旋转冲洗设备专用无刷电机驱动装置、油墨打印头三项专利获全国第十五届发明展银奖。

    2005年 8英寸晶片减薄机通过国家鉴定，该设备进给分辨率可达0.1μm，具有世界先进水平，在此基础上减薄出60μm的片子为国内首创。